Molibdeno (10%) niobio lydinio purškimo taikiniai turi plačias taikymo perspektyvas plonasluoksniuose saulės elementuose ir ekranuose. Tačiau dėl deguonies absorbcijos niobio milteliais sukepinimo metu, sukepintas molibdeno-niobio ruošinys turi didelį deguonies kiekį ir mažą tankį. Šį kartą niobio milteliai su niobio anglies danga buvo paruošti cheminės garų reakcijos būdu CH4 atmosferoje.
Niobio anglies sluoksnis ne tik padeda išvengti deguonies įsisavinimo, bet ir gali būti visiškai sunaudotas reaguojant su deguonimi reikiamoje temperatūroje.
Ištirtas paruošimo būdo, reakcijos terpės ir reakcijos parametrų poveikis niobio anglies sluoksnio veikimui ir nustatytos optimalios proceso sąlygos: temperatūra 600 laipsnių, reakcijos laikas 270 min., dujų slėgis 0,04mpa. .
Dangos paviršiaus morfologija, cheminė sudėtis, pasiskirstymas ir vienodumas buvo apibūdinti skenuojančia elektronų mikroskopija, rentgeno fotoelektronų spektroskopija, elektronų zondo mikroanalizė, Ramano spektroskopija ir atominės jėgos mikroskopija.
Deguonies ir anglies kiekis buvo nustatytas ONH ir CS analizatoriais. Paviršiuje modifikuoti niobio milteliai buvo sumaišyti su molibdeno milteliais ir sukepinti vakuume, kad būtų gautas tuščias Mo-10%Nb, kurio deguonies kiekis yra 190 ppm, anglies kiekis 290 ppm ir santykinis tankis 93%.
niobio taikinių naudojimas
Niobio purškimo taikiniai, kaip pagrindinis niobio ir jo lydinio plėvelių komponentas, yra plačiai naudojami korozijai atspariose aplinkose, tokiose kaip saulės elementai, spalvoti TFT LCD ekranai, optiniai lęšiai, elektroninis vaizdas, informacijos saugojimas, stiklo dangos, taip pat transportavimas, chemijos gamyba ir kt.
Šiandien niobio purškimo taikiniai daugiausia naudojami pažangių jutiklinių ekranų, plokščiųjų ekranų ir energiją taupančio stiklo paviršiaus dangoms. Jis turi antirefleksinį poveikį stikliniams ekranams.
Didelio grynumo niobio taikiniai yra įvairių formų, grynumo, dydžių ir kainų. Dėl detalesnės informacijos kreipkitės į mus!
