Tikslinė medžiaga siūlo platų pritaikymo spektrą, platų rinkos plėtros langą ir puikų pritaikymą įvairiose srityse. Daugumoje šiuolaikinių purškimo įrenginių naudojami stiprūs magnetai, kurie varo elektronus spirale, kad paspartintų argono dujų jonizaciją. supa taikinį, o tai padidina tikimybę, kad taikinys susidurs su argono jonais ir pagreitina purškimo greitį. Paprastai nuolatinės srovės purškimas dažniausiai naudojamas metalinėms dangoms, o RF kintamoji srovė – nelaidžioms keraminėms medžiagoms. Pagrindinė idėja yra paveikti argono jonus ant taikinio paviršiaus naudojant švytėjimo iškrovą vakuume, o plazmoje esantys katijonai pagreitins smūgį. Dėl šio susidūrimo tikslinė medžiaga išskris ir nusėda ant pagrindo, kad susidarytų plonas sluoksnis. Tikslinė medžiaga tai padarys su neigiamu purškiamos medžiagos paviršiumi.
Plėvelės dengimas naudojant purškimo techniką paprastai yra keli punktai:
(1) Plonos plėvelės medžiagos gali būti pagamintos iš metalo, lydinių arba pakraščių.
(2) Tinkamomis nustatymo sąlygomis iš kelių sudėtingų taikinių galima pagaminti ploną tos pačios sudėties plėvelę.
(3) Tikslinės medžiagos ir dujų molekulės gali būti sumaišytos arba sujungtos į išmetimo atmosferą pridedant deguonies ar kitų aktyvių dujų.
(4) Didelio tikslumo plėvelės storį galima lengvai gauti valdant tikslinę įvesties srovę ir purškimo laiką.
(5) Palyginti su kitais metodais, jis labiau tinka didelio ploto vienarūšėms plėvelėms kurti.
(6) Tikslo ir substrato padėtis gali būti savavališkai sukonfigūruota, o purškiamoms dalelėms gravitacija iš esmės nedaro įtakos.
