Tikslinė medžiaga turi plačią rinką, įvairias naudingas paskirtis ir daug žadančią ateitį. Greitai peržvelkime pagrindinius tikslinės medžiagos veikimo reikalavimus, kad galėtumėte geriau suprasti medžiagos našumą. Nuoširdžiai tikiuosi, kad tai bus jums naudinga.
Grynumas: kadangi taikinio grynumas turi didelę įtaką plėvelės veikimui, grynumas yra vienas iš pagrindinių taikinio veikimo rodiklių. Tačiau tikslinės medžiagos grynumo kriterijai praktiškai skiriasi. Pavyzdžiui, silicio dydis plokštelių skersmuo padidėjo nuo 6′′, 8′′ iki 12′′ dėl sparčios mikroelektronikos pramonės plėtros, o laidų plotis sumažėjo nuo 0.5um iki 0.25um, 0 .18um arba net 0.13um, anksčiau 99. Tikslinis 995 % grynumas gali atitikti 0.35umIC procedūros reikalavimus, o 99 reikia paruošti 0.18um linija.99.9999% ar net 999%.
Priemaišų kiekis: pagrindiniai nusodintos plėvelės taršos šaltiniai yra priemaišos tikslinėje kietojoje medžiagoje ir deguonies bei vandens garai porose. Įvairiems taikiniams dėl įvairių priežasčių reikalingas įvairus priemaišų kiekis. Pavyzdžiui, puslaidininkių sektoriuje taikomi specifiniai koncentracijos standartai. radioaktyvieji elementai ir šarminiai metalai taikiniuose, pagamintuose iš gryno aliuminio ir aliuminio lydinių.
Tankis: įprastai reikalaujama, kad tikslinės medžiagos tankis būtų didesnis, kad kietoje medžiagoje sumažėtų poros ir padidėtų purškiamos plėvelės funkcionalumas. Plėvelės elektrinėms ir optinėms charakteristikoms taip pat turi įtakos tikslinės medžiagos tankis, be purškimo greičio. Plėvelės našumas didėja didėjant tiksliniam tankiui. Tikslinės medžiagos gebėjimas išgyventi karščio įtampą purškimo proceso metu taip pat pagerėja didinant jos tankį ir stiprumą. Viena iš pagrindinių taikinio veikimo priemonių yra tankis.
