Sąvoka „purškimo taikinys“ apibūdina purškimo šaltinį, kuris yra išpurškiamas ir nusodinamas ant pagrindo naudojant magnetroninį dulkinimą, kelių lankų jonų padengimą arba kitokio tipo dengimo įrangą tinkamomis proceso sąlygomis, kad būtų sukurtos skirtingos funkcinės plonos plėvelės. naudojamas įvairiose pramonės šakose, įskaitant saulės elementus, plokščiaekranius ekranus, puslaidininkius, plokščių ekranų elektroniką, įrankius, stiklą ir dekoratyvines priemones. Įvairiose srityse reikalingos skirtingos tikslinės medžiagos.
Degančio taikinio nustatymas
Pagal procedūrą purškiamųjų tikslinių medžiagų paruošimas gali būti suskirstytas į dvi kategorijas: miltelių metalurgiją ir lydytą liejimą. Aplinkybės, kuriomis medžiaga kaitinama terminio apdorojimo proceso metu, taip pat tolesni apdorojimo būdai turi būti atidžiai kontroliuojami, be medžiagos grynumo, tankio, grūdelių dydžio ir kristalų orientacijos. kontrolė.
1.Metalo apdirbimas milteliais
Norint sėkmingai paruošti taikinius naudojant miltelinę metalurgiją, svarbu: (1) kaip žaliavą pasirinkti didelio grynumo ir itin smulkius miltelius; (2) pasirinkti formavimo ir sukepinimo technologiją, kuri gali pasiekti greitą tankinimą, kad būtų užtikrintas mažas taikinio poringumas ir kontroliuojamas grūdelių dydis; ir 3) griežtai stebėti, ar nėra priemaišų.
2. Lydymosi liejimo metodas
Vienas iš pagrindinių purškimo taikinių kūrimo metodų yra lydantis liejimo procesas. Luito lydymas ir liejimas paprastai vyksta vakuume arba apsauginėje atmosferoje, siekiant užtikrinti, kad priemaišų elementų kiekis būtų kuo mažesnis. Tačiau viduje yra tam tikras poringumas. liejimo proceso metu neišvengiamas materialus karkasas. Šios poros turės įtakos purškiamos plėvelės kokybei, nes dėl jų dalelės išsisklaidys purškimo proceso metu. Norint sumažinti jos pralaidumą, reikia papildomų terminio apdorojimo ir terminio apdorojimo procedūrų.
