Pastaraisiais metais puslaidininkių technologijos sparčiai vystėsi, o tantalo, naudojamo kaip purškiama plėvelė, paklausa palaipsniui didėjo. Integriniuose grandynuose tantalas dedamas tarp silicio ir vario laidininkų kaip difuzijos barjeras. Gamybos metodai skirtipurškia tantalo taikiniusapima luitų metalurgiją (I/M) ir miltelinę metalurgiją (P/M). Tantalo taikiniai, kuriems taikomi mažesni reikalavimai, paprastai gaminami iš tantalo luitų. Tačiau kai kuriais atvejais, kai keliami aukštesni reikalavimai, I/M metodas negali būti naudojamas, o miltelinės metalurgijos metodas gali būti naudojamas tik jam gaminti. Pavyzdžiui, I/M metodas negali pagaminti lydinio taikinių dėl skirtingų tantalo ir silicio lydymosi taškų ir mažo silicio junginių kietumo.
Medžiagų, kurios užteršia puslaidininkinį įtaisą, plėvelės formoje neturi būti. Susidarius purškimo plėvelei, jei tantalo (lydinio, junginio) taikinyje yra priemaišų, priemaišos pateks į purškimo kamerą, todėl stambios dalelės prisitvirtins prie pagrindo ir trumpai sujungs plonos plėvelės grandinę. Tuo pačiu metu priemaišos taip pat gali būti priežastis, dėl kurios plonoje plėvelėje padaugėja išsikišusių dalelių. Priemaišos dujos, tokios kaip deguonis, anglis, vandenilis ir azotas, sukels neįprastus reiškinius ir sukels susidariusios plėvelės vienodumo problemas. Be to, taikant miltelinės metalurgijos metodą, nusodintos plėvelės vienodumas priklauso nuo taikinio grūdelių dydžio, o kuo smulkesni grūdeliai taikinyje, tuo vienodesnė plėvelė gaunama. Todėl šioje srityje reikia aukštos kokybės tantalo miltelių ir tantalo taikinių. Todėl, norint gauti aukštos kokybės tantalo miltelius ir tantalo taikinį, būtina sumažinti tantalo miltelių priemaišų kiekį ir padidinti tantalo miltelių grynumą.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. gali gamintitantalo milteliaiįvairių dydžių dalelių. Siekdama užtikrinti aukštą kokybę, mūsų įmonė turi visą tantalo metalo miltelių asortimentą, kuris gali patenkinti įvairių klientų poreikius tyrimų ir plėtros, bandymų, gamybos, vartojimo ir kt.
